真空球阀的选型
一、核心性能参数（选型基础）
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真空度（工作压力范围）
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低真空： 105 Pa ~ 100 Pa
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中真空： 100 Pa ~ 10-1 Pa
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高真空： 10-1 Pa ~ 10-6 Pa
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超高真空： < 10-6 Pa
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选型要点： 阀门的密封材料、阀体结构和密封方式必须与您系统的工作真空度匹配。高真空和超高真空应用必须选择金属密封阀门。
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漏率
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这是衡量阀门密封性能的关键指标，单位通常是 Pa·m³/s 或 Pa·L/s。
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标准： 高真空阀门的漏率通常要求小于 10-10 Pa·m³/s。
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选型要点： 根据您的工艺要求选择。半导体、科研等对洁净度要求极高的领域，需要漏率极低的阀门。
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通径（DN）
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根据连接的真空管道尺寸来确定，如 DN16, DN25, DN40, DN50, DN63, DN100, DN150 等。
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选型要点： 阀门的通径应不小于管道通径，以避免形成气流瓶颈，影响抽速和系统效率。
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连接方式
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快卸法兰： 常见有KF（ISO-QF）、NW、CF（ISO-F）等。
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KF： 用于低、中真空，通径通常小于DN50，使用卡箍和密封圈连接。
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CF： 用于高真空和超高真空，为金属密封法兰，通过螺栓夹紧。
二、阀门类型与结构
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密封材料
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橡胶密封（弹性密封）：
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材料： 氟橡胶、丁腈橡胶、全氟醚橡胶等。
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优点： 密封性好，关闭扭矩小，价格相对便宜。
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缺点： 不耐烘烤，不耐某些腐蚀性气体和溶剂，有放气。
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适用： 低、中真空及一般高真空场合。
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金属密封：
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材料： 通常为不锈钢阀体配铜或不锈钢密封圈。
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优点： 耐高温，耐腐蚀，放气率极低，无析出污染。
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缺点： 关闭扭矩大，价格昂贵，对颗粒物敏感。
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适用： 高真空、超高真空、高温、洁净及腐蚀性环境。
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结构形式
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浮动球式： 球体被两阀座夹持，在介质压力作用下产生位移紧压在出口端密封圈上。结构简单，密封性好，常用较小口径。
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固定球式： 球体有上下转轴固定，扭矩更小，适用于大口径、高压差场合。
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驱动方式
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手动： 通过手柄操作，经济实惠，适用于操作不频繁的场合。
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气动： 通过压缩空气驱动，可快速启闭，适用于需要自动化控制、联锁或频繁操作的场合。
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电动： 通过电机驱动，适用于远程控制、或无法提供气源的场合。
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选型要点： 根据自动化需求、响应速度和预算选择。
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三、介质与环境条件
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介质类型
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洁净气体： 如空气、氮气、惰性气体。大多数阀门都适用。
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腐蚀性/反应性气体：
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需选择阀体、球体、密封材料均能耐受介质的阀门。可燃性/毒性气体： 必须选择零泄漏阀门，防止气体通过阀杆向外泄漏。
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温度
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环境温度： 阀门所处环境的温度范围。
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介质温度： 流过阀门的介质温度。
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烘烤温度： 系统是否需要在线烘烤，这直接决定必须选用金属密封阀门。
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洁净度要求
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对于半导体、光伏、航天等领域，阀门必须满足：
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低析出（低释气）：材料放气率低。
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低颗粒物产生：阀门动作时不会产生金属或密封件磨损颗粒。
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表面光滑：阀体内壁电解抛光处理。
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金属密封阀门是超高洁净应用的唯一选择。
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